电子洁净厂房

随着科学技术的发展，各种电子产品生产技术发展迅速。现代电子产品要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性，电子产品本身使用的集成电路、电子元器件的生产过程都要求在受控的环境下进行操作，受控参数涉及微粒、化学污染物等与产品生产过程接触的各种介质。电子厂房内气流组织依据气流流型可划分为单向流、非单向流和混合流三种形式。目前对于超大规模集成电路生产车间空调系统具有以下特点：
1、超大规模集成电路工艺布置多采用开放环境结合微环境的方法，在保证产品质量的同时，还可达到减少建设投资、降低运行费用的目的。
2、对于空气洁净度等级为1-5级时，基本上采用单向流或混合流；空气洁净度等级为6-9级时，基本上采用非单向流。
3、为有效降低能耗、消除空气处理时冷热抵消现象，对于新风系统常采用集中处理形式。

检测项目：浮游菌、沉降菌、尘埃粒子数、静压差、风速、换气次数、自净时间、温度、相对湿度、风量、噪声、照度、高效过滤器检漏、气流流型、微振检测、密闭性检测。

检测依据：GB 50591-2010《洁净室施工及验收规范》
GB 50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》
GB 50073-2001《洁净厂房设计规范》